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超声波清洗在半导体行业中的应用

 

清洗产品:二极管、硅片等
主要清洗物质:细小尘埃颗粒

工艺难点:
1. 超声波可能会损伤半导体零件
2. 半导体零件对洁净度要求高

解决方法:采用高频超声清洗